在全球微电子制造领域，提供先进电镀和湿法加工工具的ClassOne Technology近日宣布，其在加拿大的首个客户——魁北克的谢布鲁克大学（Université de Sherbrooke, UdeS）已经购买了Solstice LT单晶圆加工系统，用于先进封装的研发工作。该系统已经在该大学著名的跨学科技术创新研究所（Interdisciplinary Institute for Technological Innovation，简称3IT）安装完毕，取代了原有的手动湿台工作站，提供精准的自动化电镀加工，极大提高了加工过程的控制精度和重复性。

Solstice LT配置有专为铜和锡银（SnAg）电镀设计的CopperMax和Gen4 ECD电镀室，主要用于晶圆级的柱状结构电镀。未来，该系统还将应用于先进封装的铟电镀，支持UdeS在人工智能（AI）、量子计算、微电子机械系统（MEMS）、以及异构3D集成等关键研究领域的项目。

3IT的纳米制造设施联合主任、谢布鲁克大学教授Dominique Drouin表示：“我们很高兴将ClassOne的Solstice LT纳入我们的先进研究工具中。这款工具使我们能够达到推进异构集成研究所需的精确度和重复性，从而加强我们与学术界和工业界伙伴的合作。”Drouin进一步表示，这一设备还将提升由谢布鲁克大学量子研究所（IQ）、3IT和MiQro创新合作中心（C2MI，魁北克布罗蒙特）组成的综合创新链的能力。

谢布鲁克大学的3IT是加拿大高科技研究生态系统中的一个重要学术机构，推动微电子尖端技术的发展。Solstice LT的安装不仅将惠及UdeS，也将为与行业领导者的持续研究合作做出贡献，促进北美半导体行业的创新。

ClassOne Technology的首席执行官Byron Exarcos表示：“这次在3IT的安装——我们的第五个大学合作项目——符合我们支持先进半导体技术研究的使命。通过为UdeS的研发电镀应用自动化湿处理工艺，Solstice LT将提高过程控制和重复性，为下一代研究提供一个成本效益高、性能卓越的解决方案。”

Solstice LT的安装和过程启动在第一季度完成，与Teledyne MEMS、IBM Canada和C2Mi的研究项目已经启动。

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